武漢邁威爾科技有限公司
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   質量流量計、質量流量控制器
WUHAN MARVELL TECHNOLGY CO.,LTD
ALICAT 雙向質量流量控制器
品牌:Alicat                                   產品資料下載
產品描述:

量程-0.5SCCM~0.5SCCM到-3000SLPM~3000SLPM,200:1量程比,內置98種氣體,100ms響應,優于1%精度


美國ALICAT 雙向型質量流量控制器,采用內部補償型層流壓差專利技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。雙向型質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥,正向或反向精確測量與控制過程氣體的質量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設計模式,一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣,實現了僅用一臺設備便可同時控制開放式或密閉容器內上游、下游端流量,以及正壓、背壓。


● 數字化產品,雙向流量控制
● 多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式:數字、模擬和本地面板
● 可選高精度:可優于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣

                                                

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